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中科院研发出全固态DUV光源技术热点解读
据农商网于2025年03月28日 22时35分31秒发现，中科院研发出全固态DUV光源技术热点，ASML的担心真的应验了！
还记得ASML首席执行官曾说过：“中国人很聪明，美国制裁，可能会逼中国人研究出自己的技术。”
当时很多人觉得他在捧中国脚丫子，甚至国内也有一些人觉得他是为了卖光刻机，吹嘘中国。
结果啊，这话还没两年，国产光刻机再次实现重大突破。
根据中科院消息，中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术，用这项技术制造芯片，可以造出3nm芯片，而且成果得到了国际光电工程学会的认可。
真是大预言家啊！
不过这不重要，重要的是这项技术突破很快就引爆了芯片行业！
为啥？因为它和ASML的路线完全不同，甚至打破了欧美光刻机的传统思路。
要知道，光刻机的三大核心技术，就是光源系统、光学系统和双工作台，尤其是光源系统直接决定了光刻机的分辨率和精度。
咱们常说的EUV和DUV就是光源技术的两大种类。
在ASML的技术路线中，DUV光刻机一般用于制造7nm以上的芯片，只有EUV光刻机才可以造出7nm以下的芯片。
而EUV光刻机非常复杂，只有ASML的技术才能搞定。
因此啊，美国试图通过控制ASML，来锁死中国芯片技术。
然而中科院的固态DUV光源技术，打破了传统技术路线。
它与ASML的技术路线完全不同，传统DUV和EUV光刻机中光源是用的稀有气体来产生激光的，比如ASML的EUV光刻机光源采用的就是一项名叫氟化氙(ArF)的准分子激光技术。
而中科院光源技术不是用气体，而是固态晶体产生的。
别小看这个小小的转变，它直接带来了三大技术突破。
第一突破就是用DUV光刻机做出了EUV才能做到的事情。
根据中科院测试，固态DUV光源技术可以发射出193nm相干光，这个光的各项参数和光谱纯度与主流7nm 硅商用差不多。
这意味着它可以用在7nm甚至3nm芯片制造上。
如果这项技术能顺利落地的话，那么就意味着咱们不需要购买EUV也能造出先进的芯片，美国的光刻机制裁就没啥用了。
更关键的是，目前还只是在DUV上应用固态光源技术，如果在波长更短的EUV上也用这项技术呢？会不会生产出更先进芯片？概率还是很大的。
第二突破点则是绕开美国企业的专利群。
ASML几次向美国申请售卖EUV光刻机，但是都被美国拒绝了，有些人说那是因为荷兰怕美国制裁。
但问题是美国怎么制裁ASML呢？
答案很简单，就是EUV光刻机的核心技术其实是掌握在美国企业手里的，比如美国应用材料，英特尔、泛林集团等等。
就连EUV光源设备供应商Cymer曾经也是美国的，虽然现在转给ASML，但是美国的禁令，他们也不敢不遵守。
你ASML想挣中国的钱，问问美国企业答不答应？
所以美国能轻松拿捏ASML，进而控制整个芯片产业链。
中国也在想方设法绕过这些专利，比如哈工大就曾经用核聚变中的“Z箍缩技术”，来制造极紫外光源！
不过这项技术还是基于ASML的技术路线。
但是固态光源技术却完全不一样了，它基于固态设计的光源系统，不管是结构、材料都发生了巨大的变化，相当于重新设计一套系统。
新系统自然就没有专利束缚，可以大规模应用了。
至于第三个突破点也很重要：那就是结构更简单。
根据中科院信息，采用固态光源技术，光刻结构更简单，整体体积可以缩小30%以上。
要知道，光刻机的体积可是相当大的，有12米长，7米宽，4米高，里面各种设备相当复杂，被称为工业皇冠上的明珠。
ASML等欧美企业一直试图简化光刻机设备的复杂程度，但是一直没能成功。
现在中科院的方案却可以减少整整三分之一的体积，不仅意味着它更容易建成，还有能耗也能跟着减少。
有了这三大好处，我们大胆猜测中科院DUV固态光源路线还是值得期待的。
当然了，这项技术毕竟还在实验室，有许多技术细节还没完善，比如它的功率还比较低，需要不断迭代才行。
但就算它将来不能落地，那又怎么样？
今天能研发出核聚变光源和固态光源，明天就能研发出新的光源，一次又一次的尝试，总有一天能突破技术路线的限制。
这也是ASML最担心的一个。#光刻机突破在即##ASML CEO谈中国和西方芯片制造差异##ASML光刻机巨头#
网友看法
1、网友理性红军：天天突破，不记得突破多少次了
2、网友悟空是矿工：固态光源，能解决能量不足问题，绝对拿诺贝尔[捂脸]
3、网友新中国人：还在说光刻机，中国根本就不需要外国光刻机支持了
4、网友山岭老卒：如果这是真实的，值得大大的点赞，但文中又说”如果技术落地的话……”这是什么意思？
5、网友积极的船帆jC：全网在说光刻机华为搞定一切，怎么中科院在公关。
6、网友汉朝北海星：国家安全局一定要重视保护这项技术机密
7、网友赞颂传扬正能量：荷兰ASML公司对中国的态度变化主要体现在以下几个方面： 1. 出口限制压力：ASML曾受到美国政府的压力，要求减少对中国的高端光刻机出口。这种限制旨在遏制中国在半导体技术上的发展。 2. 公司立场：尽管受到外部压力，ASML的管理层多次表示，希望继续与中国保持业务往来，认为中国市场具有重要的经济价值。 3. 荷兰政府的摇摆：荷兰政府在是否追随美国限制政策上曾表现出不稳定性，时而支持限制，时而表示担忧中国限制稀有金属出口对荷兰利益的影响。 4. 经济利益考量：ASML在中国市场的营收占比较大，因此公司希望保持对华出口，以避免经济损失。 5. 国际博弈因素：全球半导体供应链的复杂性使得ASML在国际政治博弈中面临挑战，努力寻求在遵守国际规则与维护自身利益之间的平衡。 这些因素共同影响了ASML对中国的态度变化。
8、网友盛世竹溪：不光点赞，还要给伟大的科学家每人发一个亿。[赞][赞][赞]
9、网友吃饱睡觉222：早几年前就说过，我们光刻机会像新能源车那样会实现弯道超车的，白菜价的芯片不远了
10、网友空空如也不空空：为中国科技人点赞，这是伟大的进步！
11、网友社会看官：这不是自媒体发的吗，我基本每天都能看到这种新闻
12、网友凡尘暮鱼：[赞]为科技进步点赞
13、网友寻梦190681882：每一次进步，都让我心潮澎湃！
14、网友哈古那玛塔塔：这个信息去年年底就走了
15、网友闲云野鹤：它们同样说过：就是把图纸给中国，中国人也要不出来。
16、网友完美书签m5W：1 0.07W不到正常DUV的1/1000水平。2，原来国产DUV光刻机光源没有搞定啊，看来还是要进口日本的光源啊
17、网友XQ1234567890：把新光源用来替代DUV中的光源，是否可以把现有的DUV变成EUV光刻机呢？[大笑]
18、网友green0515：又一个DeepSeek
19、网友往事随风飘散：哇哈哈哈哈，明天我要喝两杯，敬科学工作者
20、网友烛光4471：不知道真假，中国人聪明，我一直相信，可是由于诸多原因，和美国的差距，我觉得不是近期能够赶超的，你们觉得呐？
